Effect of deposition rate on the structure and resistivity of sputtered Ti films
| Permalink: | http://skupni.nsk.hr/Record/nsk.NSK01000172906 |
|---|---|
| Matična publikacija: |
Fizika A (Zagreb) 4 (1995), 2 ; str. 351-360 |
| Glavni autor: | Musil, Jindrich (-) |
| Ostali autori: | Bell, Albert J. (-), Rajsky, Antonin, Čepera, Milan, Zeman, Jaroslav |
| Vrsta građe: | Članak |
| Jezik: | eng |
| Predmet: |