Measurements of the electron energy distribution function in two different regions of DC-magnetron sputtering device
| Permalink: | http://skupni.nsk.hr/Record/nsk.NSK01000292776 |
|---|---|
| Matična publikacija: |
Fizika A (Zagreb) 9 (2000), 4 ; str. 177-186 |
| Glavni autor: | Elakshar, F. Fahmy (-) |
| Ostali autori: | Hassouba, Mohamed Ali (-), Garamoon, A. Abuwali |
| Vrsta građe: | Članak |
| Jezik: | eng |
| Predmet: |