Određivanje debljine tankih polimernih filmova s pomoću rezonatora i FIB/SEM analizom
Sažetak: Tankim se filmovima smatraju oni filmovi čija se svojstva zbog reducirane debljine razlikuju od svojstava u bulk* sustavima. Kod polimernih filmova jedan od uzroka različitih svojstava je preferirana orijentacija bočnih lanaca na sučeljima, što uzrokuje i razliku u slobodnom volumenu po pre...
| Permalink: | http://skupni.nsk.hr/Record/nsk.NSK01000726083/Details |
|---|---|
| Matična publikacija: |
Polimeri (Zagreb) 29 (2008), 3 ; str. 152-156 |
| Glavni autor: | Haramina, Tatjana (-) |
| Vrsta građe: | Članak |
| Jezik: | hrv |
| Predmet: | |
| Online pristup: |
Polimeri: časopis za plastiku i gumu) |
| LEADER | 01882caa a2200301 ir4500 | ||
|---|---|---|---|
| 001 | NSK01000726083 | ||
| 003 | HR-ZaNSK | ||
| 005 | 20110509110534.0 | ||
| 007 | ta | ||
| 008 | 100202s2008 ci ||| ||hrv | ||
| 035 | |9 (HR-ZaNSK)728682 | ||
| 035 | |a (HR-ZaNSK)000726083 | ||
| 040 | |a HR-ZaNSK |b hrv |c HR-ZaNSK |e ppiak | ||
| 041 | 0 | |a hrv |b eng | |
| 042 | |a croatica | ||
| 080 | |a 67 |2 MRF 1998. | ||
| 080 | |a 53 |2 MRF 1998. | ||
| 100 | 1 | |a Haramina, Tatjana | |
| 245 | 1 | 0 | |a Određivanje debljine tankih polimernih filmova s pomoću rezonatora i FIB/SEM analizom / |c Tatjana Haramina. |
| 300 | |b Ilustr. | ||
| 504 | |a Bilješka uz tekst ; bibliografija: 15 jed | ||
| 504 | |a Abstract | ||
| 520 | 8 | |a Sažetak: Tankim se filmovima smatraju oni filmovi čija se svojstva zbog reducirane debljine razlikuju od svojstava u bulk* sustavima. Kod polimernih filmova jedan od uzroka različitih svojstava je preferirana orijentacija bočnih lanaca na sučeljima, što uzrokuje i razliku u slobodnom volumenu po presjeku. Rezultati analiza nužno se prikazuju u ovisnosti o debljini. Razlika u strukturi otežava određivanje debljine filma metodama uobičajenim za polimerne filmove kao što su elipsometrija, rendgenska difraktometrija, profilometrija i sl. U ovom radu debljina polimernog filma na podlozi od silicija određena je s pomoću rezonatora, a rezultati su uspoređeni sa slikama dobivenima s pomoću fokusirane ionske zrake i rasterskoga elektronskog mikroskopa FIB/SEM analizom (e. Focused Ion Beam/Scanning Electron Microscopy). Obje metode pokazale su se neovisnima o strukturnim nehomogenostima | |
| 653 | |a Polimeri |a Fizikalna svojstva | ||
| 773 | 0 | |t Polimeri (Zagreb) |x 0351-1871 |g 29 (2008), 3 ; str. 152-156 |w nsk.(HR-ZaNSK)000007502 | |
| 981 | |b B17/08 |p CRO | ||
| 998 | |a rado100202 |c rpeo110509 | ||
| 856 | 4 | 2 | |u http://hrcak.srce.hr/polimeri |y Polimeri: časopis za plastiku i gumu) |