Thermal decomposition of silicon-rich oxides deposited by the LPCVD method

Permalink: http://skupni.nsk.hr/Record/nsk.NSK01000852810/Details
Matična publikacija: Croatica chemica acta
85 (2012) 1 ; str. 91-96
Glavni autor: Ristić, Davor (-)
Ostali autori: Ivanda, Mile, inženjer fizike (-), Furić, Krešimir, Chiasera, Alessandro, Moser, Enrico, Ferrari, Maurizio
Vrsta građe: Članak
Jezik: eng
Predmet:
Online pristup: Elektronička verzija članka
LEADER 01371caa a2200349 i 4500
001 NSK01000852810
003 HR-ZaNSK
005 20210331162444.0
007 ta
008 130520s2012 ci | |||| ||eng
035 |a (HR-ZaNSK)000852810 
040 |a HR-ZaNSK  |b hrv  |c HR-ZaNSK  |e ppiak 
042 |a croatica 
044 |a ci  |c hr 
080 |a 53  |2 MRF 1998. 
080 |a 54  |2 MRF 1998. 
100 1 |a Ristić, Davor 
245 1 0 |a Thermal decomposition of silicon-rich oxides deposited by the LPCVD method /  |c Davor Ristić, Mile Ivanda, Krešimir Furić, Alessandro Chiasera, Enrico Moser and Maurizio Ferrari. 
246 3 |a Low Pressure Chemical Vapor Deposition 
300 |b Ilustr. 
500 |a 34th International Convention on Information and Communication Technology, Electronics and Microelectronics, Opatija, May 23-27, 2011 
504 |a Bibliografija: 13 jed. 
653 0 |a Silicij  |a Oksidi  |a Toplinska razgradnja  |a Termogravimetrija  |a Tanki filmovi 
700 1 |a Ivanda, Mile,  |c inženjer fizike 
700 1 |a Furić, Krešimir 
700 1 |a Chiasera, Alessandro 
700 1 |a Moser, Enrico 
700 1 |a Ferrari, Maurizio 
773 0 |t Croatica chemica acta  |x 0011-1643  |g 85 (2012) 1 ; str. 91-96 
981 |b B07/12  |p CRO 
998 |a rpeo130903 
856 4 2 |u http://hrcak.srce.hr/index.php?show=clanak&id_clanak_jezik=119603  |y Elektronička verzija članka