Low temperature deposition of SiNx thin films by the LPCVD method
| Permalink: | http://skupni.nsk.hr/Record/nsk.NSK01000852823 |
|---|---|
| Matična publikacija: |
Croatica chemica acta 85 (2012) 1 ; str. 97-100 |
| Glavni autor: | Tijanić, Zdenko (-) |
| Ostali autori: | Ristić, Davor (-), Ivanda, Mile, inženjer fizike, Bogdanović-Radović, Ivančica, Marciuš, Marijan, Ristić, Mira, Gamulin, Ozren, Musić, Svetozar, Furić, Krešimir, Chiasera, Alessandro, Ferrari, Maurizio, Righini, Giancarlo Cesare |
| Vrsta građe: | Članak |
| Jezik: | eng |
| Predmet: | |
| Online pristup: |
Elektronička verzija članka |