Low temperature deposition of SiNx thin films by the LPCVD method

Permalink: http://skupni.nsk.hr/Record/nsk.NSK01000852823/Details
Matična publikacija: Croatica chemica acta
85 (2012) 1 ; str. 97-100
Glavni autor: Tijanić, Zdenko (-)
Ostali autori: Ristić, Davor (-), Ivanda, Mile, inženjer fizike, Bogdanović-Radović, Ivančica, Marciuš, Marijan, Ristić, Mira, Gamulin, Ozren, Musić, Svetozar, Furić, Krešimir, Chiasera, Alessandro, Ferrari, Maurizio, Righini, Giancarlo Cesare
Vrsta građe: Članak
Jezik: eng
Predmet:
Online pristup: Elektronička verzija članka
LEADER 01734caa a2200421 i 4500
001 NSK01000852823
003 HR-ZaNSK
005 20200115155917.0
007 ta
008 130520s2012 ci | |||| ||eng
035 |a (HR-ZaNSK)000852823 
040 |a HR-ZaNSK  |b hrv  |c HR-ZaNSK  |e ppiak 
042 |a croatica 
044 |a ci  |c hr 
080 |a 54  |2 MRF 1998. 
080 |a 53  |2 MRF 1998. 
100 1 |a Tijanić, Zdenko 
245 1 0 |a Low temperature deposition of SiNx thin films by the LPCVD method /  |c Zdenko Tijanić, Davor Ristić, Mile Ivanda, Ivančica Bogdanović-Radović, Marijan Marciuš, Mira Ristić, Ozren Gamulin, Svetozar Musić, Krešimir Furić, Alessandro Chiasera, Maurizio Ferrari and Giancarlo Cesare Righini. 
246 3 |a Low Pressure Chemical Vapor Deposition 
300 |b Ilustr. 
500 |a 34th International Convention on Information and Communication Technology, Electronics and Microelectronics, Opatija, May 23-27, 2011 
504 |a Bibliografija: 4 jed. 
653 0 |a Silicijev nitrid  |a Tanki filmovi  |a Niske temperature  |a Taloženje  |a Ramanova spektroskopija 
700 1 |a Ristić, Davor 
700 1 |a Ivanda, Mile,  |c inženjer fizike 
700 1 |a Bogdanović-Radović, Ivančica 
700 1 |a Marciuš, Marijan 
700 1 |a Ristić, Mira 
700 1 |a Gamulin, Ozren 
700 1 |a Musić, Svetozar 
700 1 |a Furić, Krešimir 
700 1 |a Chiasera, Alessandro 
700 1 |a Ferrari, Maurizio 
700 1 |a Righini, Giancarlo Cesare 
773 0 |t Croatica chemica acta  |x 0011-1643  |g 85 (2012) 1 ; str. 97-100 
981 |b B07/12  |p CRO 
998 |a rpeo130903  |b mili2001 
856 4 2 |u http://hrcak.srce.hr/index.php?show=clanak&id_clanak_jezik=119646  |y Elektronička verzija članka